停止在晶圆加工过程中浪费热量
在加热硅晶圆时，每一瓦特的能量都至关重要。但问题在于：普通的石英灯存在能量泄漏的问题，大量能量从灯的背面和侧面散失掉，这些能量对加工过程毫无帮助。
因此，我们使用了镀金的双管灯。通过在灯管背面涂上高纯度的金层，我们可以让灯变成一个高效的发热源。
为什么选择黄金？
这与其说与材料本身有关，不如说与红外线的传播特性有关。黄金对红外线的反射能力远远优于铝或抛光钢。可以把这种涂层看作一面镜子——热量不会向各个方向散射，而是集中在一个方向上。这样，能量就能更集中地作用于晶圆表面。最棒的是，无需增加电力供应，就能获得更高的热流量。这其实是对已有能源的更有效利用。
注意事项及解决方法
双管设计的好处在于，它能在更小的空间内产生更多的热量。相比单管灯，它的辐射表面积更大，从而提升了效率。不过，这也意味着会产生大量热量。如果冷却系统无法有效散热，那么连接部件就可能会被烧毁。所以在将灯的功率调到最大值之前，务必先检查其通风情况。这个简单的检查步骤可以避免设备出现故障。
如何使用这些灯
当需要快速提升温度，并且希望晶圆上的温度分布均匀时，这些灯就是最佳选择。由于金涂层能够很好地集中能量，所以可以将灯放置得更靠近晶圆，从而打造出更紧凑的设备。不过，由于有更多能量作用于晶圆，可能需要调整PID控制器，才能确保一切正常运行。