停止在晶圆加工过程中浪费热量 在加热硅晶圆时，每一瓦特的能量都至关重要。但问题在于：普通的石英灯存在能量泄漏的问题，大量能量从灯的背面和侧面散失掉，这些能量对加工过程毫无帮助。 因此，我们使用了镀金的双管灯。通过在灯管背面涂上高纯度的金层，我们可以让灯变成一个高效的发热源。 为什么选择黄金？ 这与...

如何让100级洁净室保持清洁状态 如果你正在运营100级洁净室，那么你肯定知道气体释放带来的麻烦。哪怕是来自加热元件的微量颗粒物，都可能毁掉你的半导体晶圆。这真是令人沮丧。大多数普通红外灯根本无法解决这个问题——它们会在高温下失效，进而产生大量微小颗粒物，而这些颗粒物恰恰会出现在你不希望出现的地方...