如何让MEMS晶圆保持干燥，同时避免各种问题 在干燥MEMS传感器晶圆时，需要精准控制温度。虽然需要足够的热量来完成干燥过程，但温度必须保持均匀。如果仍有少量水分残留，或者热量分布不均，就可能导致传感器膜层粘在一起或损坏。这显然是没人希望看到的情况。 因此，我们设计的加热器能够满足极高的精度要求。...

为何半导体制造厂正在放弃传统烤箱，转而使用红外线固化技术？ 说实话，传统对流式烤箱效率极低。大多数半导体工厂仍然在使用那种需要将整个房间的空气加热才能让芯片干燥的庞大设备。这种方式既缓慢又浪费资源。其实，这就好比试图通过加热整个房子来烘干一只袜子一样荒谬。 红外线固化技术则完全不同。它不需要加热空...

晶圆从最终冲洗出来，计时开始。如果干燥周期犹豫不决，就等于在赌水印、图案坍塌以及曝光和烘烤后数小时才显现的光刻胶缺陷——那时良率已经无法挽回。在高产能工厂中，干燥不是一个被动步骤，而是一个受控的热过程，干燥模块内的加热器决定了工艺是可重复还是仅存希望。 我们设计的工业级晶圆干燥系统加热器针对...