用于晶圆的中波红外线加热器

在300毫米生产线中，烘烤温度只要出现0.5°C的波动，就足以影响芯片的关键尺寸；而如果有颗粒物存在的话，那么整批产品都可能被毁掉。中波红外加热器则可以消除这种温度上的不确定性——因为在软烘和硬烘过程中，光阻的性能必须保持稳定，重复性才是最重要的指标。 关键点在于什么？ 中波红外加热器能够快速将能...