MEMS传感器晶圆干燥加热器

如何让MEMS晶圆保持干燥，同时避免各种问题 在干燥MEMS传感器晶圆时，需要精准控制温度。虽然需要足够的热量来完成干燥过程，但温度必须保持均匀。如果仍有少量水分残留，或者热量分布不均，就可能导致传感器膜层粘在一起或损坏。这显然是没人希望看到的情况。 因此，我们设计的加热器能够满足极高的精度要求。...