用于半导体加热器的热电偶

在红外半导体系统中准确控制温度 如果我们真的想减少半导体制造过程中的能源消耗，那就必须放弃那些旧式的电阻式加热器。采用红外加热才是正确的选择。不过，要想实现节能目标，就绝不能浪费能源。 这时，热电偶就派上用场了。它并非仅仅是机器中的某个组件，而是整个系统的心脏。它能避免昂贵的晶圆被毁掉，同时也能防...