用于晶圆的高精度红外传感器
为何我们选择使用红外固化技术来处理无铅芯片 半导体行业正在逐渐摒弃传统的对流式加热方式。我们大多选择使用红外固化技术,这不仅仅是因为符合“环保”或“无铅”的要求——尽管这些也是重要原因。更重要的是,红外固化技术的原理更为科学。
与对流式加热不同,红外固化技术利用的是电磁辐射。它不会干扰空气流动,而...
高精度温度加热器
在光刻工序中,90°C的低温烘烤并非仅仅是控制器上的一个设定值而已。它实际上是一道关键的界限——只有遵循这一温度要求,光刻胶的形状才能保持稳定,否则芯片就会变成废品。
如果温度出现0.5°C的波动,就足以导致CD均匀性下降,进而使线宽控制失去精度。在半导体制造领域,温度不仅仅是一种热量指标,更是一...