Wie man einen Klasse-100-Reinraum wirklich sauber hält
Wenn Sie einen Klasse-100-Reinraum betreiben, kennen Sie sicherlich das Problem der Ausgasung. Schon die geringste Menge an Partikeln, die von einem Heizelement abgeben, kann dazu führen, dass Ihre Halbleiterwafer zerstört werden. Das ist frustrierend. Die meisten herkömmlichen Infrarotlampen funktionieren in solchen Fällen nicht – sie gehen bei der hohen Temperatur kaputt und verbreiten mikroskopisch kleine Partikel genau dort, wo man das auf keinen Fall haben will.
Wir haben eine Lösung gefunden. Wir verwenden hochreinen synthetischen Quarz sowie eine goldene Reflexionsbeschichtung. Einfach – aber effektiv.
Warum Gold?
Es geht nicht um ein attraktives Aussehen. Wir legen eine dünne Schicht Gold auf die Rückseite des Quarzkörpers – schließlich reflektiert Gold Infrarotstrahlung hervorragend, genauer gesagt etwa 98 Prozent davon. Dadurch wird die Wärme gezielt in Richtung des Ziels geleitet. So verschwendet man keine Energie, und das Lüftungssystem muss nicht übermäßig arbeiten, um den Raum kühl zu halten. Zudem können Sie die gewünschten Temperaturen viel schneller erreichen, ohne die Leistung der Lampe auf extrem hohe Werte erhöhen zu müssen.
Quarz und Glas
Wir verwenden weiterhin hochreinen Quarz – billiges Glas hingegen bricht unter solchen Bedingungen schnell zusammen. Quarz kann solche Belastungen aushalten. Man kann die Stromzufuhr ein- und ausschalten, ohne dass der Quarzkörper durch thermische Schocks beschädigt wird.
Was das Gold angeht: Wir verwenden dabei einen Vakuumabscheidungsprozess, damit die Goldschicht fest am Quarz haftet. Wenn diese Beschichtung abblättert, landen Partikel auf dem Silizium – und das wollen wir auf keinen Fall. Dieser Prozess sorgt dafür, dass die Goldschicht stabil bleibt.
In Betrieb nehmen
Diese Lampen können einfach als Ersatz für die üblichen Trocknungs- und Aushärtungsgeräte verwendet werden. Sie können sie direkt mit Ihren vorhandenen Steuerungen verbinden.
Aber Achtung: Achten Sie auf die Wärmedichte. Da die goldene Beschichtung fast alle Energie nach vorne leitet, wird die Vorderseite der Lampe viel heißer als bei einer normalen Lampe. Stellen Sie sicher, dass Ihre Abschirmung sowie die Kühllüfter ausreichen, um die Hitze in Schach zu halten. Sonst könnte die Hitze versehentlich einen nahegelegenen Sensor beschädigen.