Obtenir plus de chaleur sur vos wafers (sans gaspiller d’énergie)
Lorsque vous chauffez des wafers à l’aide de chariots de transport dans une salle propre, chaque unité d’énergie compte. Le problème majeur ? Voir l’énergie thermique disparaître sans que cela ne serve à rien. La plupart du temps, cette énergie infrarouge n’atteint même pas le wafer ; elle est simplement absorbée par le châssis du chariot.
C’est pourquoi nous utilisons de l’or.
Pourquoi de l’or ?
L’aluminium est la solution standard, mais ce n’est pas idéal : il absorbe et disperse trop d’énergie. L’or, en revanche, est incroyablement efficace pour renvoyer les rayons infrarouges vers leur destination. Au lieu d’utiliser de l’énergie pour chauffer le châssis du chariot – ce qui ne sert à rien pour votre processus – la couche d’or dirige directement les rayons vers le wafer. Vous obtenez ainsi un flux thermique beaucoup plus intense, sans avoir besoin d’augmenter la puissance utilisée.
Faire circuler la chaleur
Tout dépend de la forme et des matériaux utilisés. Nous combinons des lampes infrarouges haute intensité avec des réflecteurs paraboliques ou elliptiques recouverts d’or. Cela fonctionne comme un projecteur : les rayons sont concentrés en un faisceau étroit, ce qui permet au wafer d’atteindre plus rapidement sa température cible. De plus, cela permet d’éliminer ces zones froides gênantes sur le wafer.
Les limites
Le problème, c’est que lorsque la chaleur est concentrée de cette manière, les bords du réflecteur deviennent très chauds. Si vous essayez d’augmenter excessivement la puissance, vous risquez de endommager les joints de la lampe. Il faut trouver un équilibre entre la densité d’énergie et la capacité de ventilation du chariot. Si la circulation d’air est insuffisante, la chaleur s’accumule, le réflecteur peut se déformer, et soudainement, le point focal disparaît.
Simple à installer
Nous avons conçu ces dispositifs pour qu’ils puissent remplacer directement ceux que vous avez déjà. Il suffit de les brancher sur vos contrôleurs existants, et l’or s’occupera du reste. C’est un moyen simple d’obtenir plus de chaleur sur le silicium, sans exploser votre budget énergétique.