כיצד לייבש את שבבי ה-MEMS בלי בעיות
כאשר מייבשים שבבי חיישני MEMS, יש צורך באיזון עדין מאוד. יש צורך בחום מספיק כדי להשלים את המשימה, אך החום חייב להיות אחיד לחלוטין. אם נשארת כמות קטנה של לחות – או אם החום פוגע בשבב באופן לא אחיד – עלולה להיווצר דבקות בין החלקים של השבב, או שהממברנה של החיישן עלולה להישבר. זו בעיה שאף אחד לא רוצה.
לכן אנו מייצרים את החיממים שלנו כך שהם יעמדו בדרישות האלו. אנו משתדלים להעלות את הטמפרטורה במהירות, ולשמור עליה יציבה על כל שטח השבב.
על ההספק
כדי לייבש את השבב מבלי לפגוע במבנים הרגישים של ה-MEMS, חשוב להתחשב בהספק לכל אינץ’ רבוע. ריכוז הספק גבוה הוא דבר טוב, מכיוון שהוא מאפשר להיפטר מהלחות במהירות.
אך יש עוד דבר חשוב: מקור הכוח חייב להתאים למתח של החיממים. אם ננסה להעביר זרם גדול מדי דרך רכיב בעל מתח נמוך, זה עלול לגרום להרס החיממים. הם עלולים להישרף הרבה מהר יותר מהצפוי.
שמירה על ניקיון
במפעלי סמיכות, גרגר אבק אחד יכול להוות בעיה גדולה. אנו משתמשים בקוורץ באיכות גבוהה או בציפויי חרסינה מיוחדים, כדי ששום דבר לא ייפול לתוך הכימה.
אנו גם סוגרים את רכיבי החימום כדי למנוע חמצון. כך החום נשאר יציב, גם לאחר אלפי מחזורים. ומכיוון שרכיבים אלו מתרחבים ומצטמצמים כל הזמן, אנו משתמשים בחיבורים ברמה תעשייתית. אי אפשר להרשות לעצמנו חוטים רופפים במהלך הייצור.
הקונפליקטים
חיממים בעלי הספק גבוה הם יעילים, אך הם יוצרים לחץ רב על מערכות הוואקום והקירור.
כמובן, הגדלת החום מאיצה את התהליך. אך זה גם עלול לגרום ללחץ תרמי יתר על קצוות השבב. חשוב לווסת את מערכות הבקרה בזהירות, כדי שהטמפרטורה לא תעלה יותר מדי.
והנה אזהרה חשובה: אם מאווררי הקירור שלכם לא מסוגלים להתמודד עם החום שנוצר על ידי החיממים, מערכות הבקרה שלכם עלולות להפסיק לעבוד כראוי. זה מעצבן וקשה לתקן את זה. כדי למנוע זאת, אנו ממליצים על תהליך חימום הדרגתי. זה דורש סבלנות יותר, אך זה בטוח יותר.