क्यों क्लीन रूम इन्फ्रारेड हीटर, धूल में गर्म हवा के प्रवाह को बनाए रखते हैं?
अर्धचालकों के गहन प्रसंस्करण में, हर सेकंड महत्वपूर्ण होता है। जब वेफरों को सुखाने, संसाधित करने या एनील करने का काम किया जाता है, तो पारंपरिक हीटिंग तकनीकें बहुत धीमी होती हैं, एवं उन पर नियंत्रण रखना भी मुश्किल होता है। ऐसी तकनीकों में पूरे चेंबर को गर्म करने हेतु बहुत ऊर्जा खर्च होती है; जबकि वास्तव में केवल उस हिस्से को ही गर्म करने की आवश्यकता होती है।
इसलिए हमने क्लीन रूम इन्फ्रारेड हीटर बनाए – जिनका उद्देश्य सीधे ही सब्सट्रेट को गर्म करना है, न कि आसपास की हवा को। यह केवल तेज़ गर्मी प्रदान करने का ही मामला नहीं है… बल्कि आवश्यक स्थान पर ही गर्मी उत्पन्न करने का मामला है। इसी कारण ही ये हीटर आधुनिक अर्धचालक उत्पादन लाइनों में इस्तेमाल हो रहे हैं।
ऊर्जा, वोल्टेज एवं आकार के बारे में…
इस सिस्टम का मुख्य घटक 400V, 2500W की क्षमता वाला इन्फ्रारेड ट्यूब है… जिसकी लंबाई 300 मिमी है। 400V का वोल्टेज इस ट्यूब को छोटे आकार में ही उच्च घनत्व वाला बनाता है… जिससे तुरंत ही ऊर्जा प्राप्त होती है, एवं पैनल पर अतिभार नहीं पड़ता। 2500W की क्षमता का मतलब है तेज़ गर्मी उत्पन्न करना… जो कि तब आवश्यक होता है, जब उत्पादन लाइन को तुरंत ही तापमान तक पहुँचना होता है।
300 मिमी की लंबाई से गर्मी केवल आवश्यक स्थान पर ही उत्पन्न होती है… जिससे मशीन के अन्य हिस्सों पर कोई प्रभाव नहीं पड़ता। लेकिन इसका नुकसान यह है कि इतनी अधिक ऊर्जा एक ही स्थान पर उत्पन्न होने से वहाँ तेज़ गर्मी पैदा होती है… इसलिए मशीन की शीतलन व्यवस्था ठीक होनी आवश्यक है… वरना आसपास के घटकों पर नकारात्मक प्रभाव पड़ सकता है।
जो सामग्रियाँ इसे कार्यक्षम बनाती हैं…
इन्फ्रारेड ट्यूब को हैलोजन-युक्त क्वार्ट्ज से ढका गया है। क्वार्ट्ज तेज़ गर्मी/ठंडे परिस्थितियों में भी स्थिर रहता है… एवं क्लीन वातावरण में भी अपनी गुणवत्ता बनाए रखता है। हैलोजन गैस फिलामेंट को स्थिर रखती है… जिससे उसका रंग काला नहीं होता… एवं उत्पादन सुचारू रहता है… हजारों घंटों तक।
कनेक्शन हेतु हम R7s कनेक्टर का उपयोग करते हैं… यह सरल, सुरक्षित है… एवं मशीन में होने वाले कंपनों का सामना कर सकता है। इससे तेज़ी से कनेक्शन स्थापित हो जाता है… एवं रखरखाव भी आसान हो जाता है।
कारखाने में इसका क्या महत्व है?
अर्धचालकों के गहन प्रसंस्करण में, इन्फ्रारेड हीटर केवल सब्सट्रेट को ही गर्म करता है… न कि आसपास की हवा को। इससे तेज़ गति से सुखाने/संसाधन की प्रक्रिया होती है… एवं तापीय विलंब भी कम हो जाता है। चूँकि सब्सट्रेट तुरंत ही तापमान तक पहुँच जाता है… इसलिए समय भी बचता है… एवं खाली जगहों को गर्म करने हेतु ऊर्जा भी बचती है।
यदि आप कन्वेक्शन तकनीक से डायरेक्ट-हीट तकनीक की ओर जा रहे हैं… तो क्लीन रूम इन्फ्रारेड हीटर ही सबसे उपयुक्त विकल्प है। यह आपको नियंत्रण, गति एवं विश्वसनीयता देता है… एवं आधुनिक मशीनों के साथ भी इसका उपयोग संभव है।
बस याद रखें… यदि आप सटीक गर्मी प्रदान करना चाहते हैं… तो इन्फ्रारेड हीटर ही विकल्प है। लेकिन आपकी मशीन की शीतलन व्यवस्था भी इतनी मजबूत होनी आवश्यक है… ताकि इतनी अधिक ऊर्जा का सामना किया जा सके।