फैब सुविधाओं में, आप जानते ही हैं कि क्या होता है… यदि फोटोरेसिस्ट को सुखाने की प्रक्रिया में तापमान में केवल 0.2°C का भी अंतर हो जाए, तो उत्पादित उत्पादों में गलतियाँ हो जाती हैं, और ऐसी गलतियों को ठीक करना असंभव हो जाता है। 24/7 चलने वाली असेंबली फैक्ट्रियों में तापमान संयमन बहुत ही महत्वपूर्ण है… यही तापमान संयमन ही उत्पादन प्रक्रिया को सफल बनाने में मदद करता है।
हम हर बार क्या डिज़ाइन करते हैं?
हम फैब एवं असेंबली उपकरणों को तीन महत्वपूर्ण मानदंडों के आधार पर ही डिज़ाइन करते हैं – समानता, स्वच्छता, एवं दोहराव। गर्मी उत्पन्न करने वाले क्षेत्रों में हम ±0.1°C की समानता बनाए रखते हैं… ताकि हर वेफर एवं हर कैरियर को समान तापमान ही मिले। हीटरों को क्लीनरूम क्लास 1–100 के मानकों के अनुरूप ही डिज़ाइन किया जाता है… एवं गर्म क्षेत्रों में कोई भी कण न उत्पन्न हो, इसका ध्यान रखा जाता है… ताकि फोटोरेसिस्ट या अन्य सतहों पर कोई दूषण न हो। गर्मी उत्पन्न करने की प्रक्रिया हर बार एक ही तरह से होती है… जिससे सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक जैसे महत्वपूर्ण पैरामीटर निर्धारित सीमाओं के भीतर ही रहते हैं।
वेफर प्रसंस्करण में इसका क्या महत्व है?
स्थिर तापमान से फोटोरेसिस्ट का प्रवाह एवं चिपकने की क्षमता स्थिर रहती है… जिससे लिथोग्राफी प्रक्रिया में दोष नहीं होते। पैकेजिंग एवं असेंबली प्रक्रियाओं में स्थिर तापमान से उत्पादन समय कम हो जाता है… एवं अतिरिक्त ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है।
कुछ व्यावहारिक सुझाव:
ये हीटर मौजूदा फैब उपकरणों में ही इस्तेमाल किए जा सकते हैं… लेकिन तापमान एवं हवा के प्रवाह को प्रक्रिया के अनुरूप ही रखना आवश्यक है। क्लीनरूम-स्तरीय विद्युत व्यवस्था की व्यवस्था करना आवश्यक है… एवं रखरखाव हेतु पर्याप्त जगह भी आवश्यक है। सर्वोत्तम प्रदर्शन हेतु स्थिर वातावरण एवं सेंसरों की सही व्यवस्था आवश्यक है।