Ketika Anda memanaskan wafer di zona pembersihan kimia, pada dasarnya Anda sedang bermain dengan api. Ada uap-uap yang mudah terbakar dan bahan-bahan korosif yang mengambang di udara. Jika salah satu lampu IR rusak atau radiasi yang dihasilkan terlalu dekat dengan zat pelarut yang mudah terbakar, maka bisa terjadi kebakaran. Itu merupakan situasi yang sangat berbahaya.
Kami mengatasi hal ini dengan memperhatikan dua hal penting: bagaimana cara menyegel lampu tersebut, serta seberapa jauh jarak yang diperlukan agar lampu tersebut tetap aman.
Mencari keseimbangan suhu
Menentukan jarak yang tepat merupakan hal yang sulit. Anda tidak bisa hanya menebak saja. Jika lampu terlalu dekat, wafer akan hangus, atau bahkan bisa terjadi kebakaran akibat uap-uap yang terbakar. Namun, jika lampu terlalu jauh, waktu yang dibutuhkan untuk memanaskan wafer akan bertambah, dan kapasitas produksi pun menurun.
Kami mempertimbangkan daya lampu dan titik bakar bahan kimia tersebut untuk menemukan titik keseimbangan yang tepat. Tujuannya adalah agar energi yang masuk ke permukaan wafer tetap berada di bawah batas yang aman.
Mencegah kerusakan
Tabung kuarsa biasa tidak cocok digunakan di sini. Lingkungan di sini terlalu keras. Sebagai gantinya, kami menggunakan lapisan pelindung yang tahan terhadap bahan kimia.
Mengapa? Karena itulah tempat dimana masalah serius bermula. Uap-ukap kimia akan merusak elektroda, dan itulah yang menyebabkan terjadinya korsleting listrik. Kami memastikan bahwa “zona panas” tetap terkendali, dan menggunakan bahan-bahan yang tidak akan mengeluarkan gas atau hancur ketika bahan pembersihnya bersifat agresif.
Kompromi yang harus diterima
Masalahnya adalah, jalur produksi semikonduktor membutuhkan kecepatan, sehingga lampu IR berdaya tinggi menjadi pilihan yang tepat. Namun, kekuatan panas yang dihasilkan tentu memiliki risiko. Semakin besar daya yang digunakan, semakin besar pula jarak yang diperlukan agar bahan kimia tidak overheating.
Jika ruangnya terbatas, Anda tidak bisa menggunakan lampu berdaya tinggi. Sebaliknya, kami menggunakan lebih banyak lampu dengan daya yang lebih rendah. Dengan cara ini, beban panas dapat didistribusikan secara merata, sehingga segalanya tetap berada dalam zona yang aman.
Dan demi keamanan, kami juga memasang sistem pengamanan thermal cutoff. Jika sistem pendingin berhenti bekerja, aliran listrik akan langsung diputus. Dengan begitu, tidak akan terjadi kebakaran.