Mengapa Pengeringan menggunakan sinar inframerah berkesan untuk standard semikonduktor
Ketika bekerja di kilang semikonduktor, risikonya sangat tinggi. Proses pengeringan dan pematangan perlu dilakukan dengan sempurna—tanpa sebarang sisa, dan dengan jejak karbon yang minimum.
Cara lama? Menggunakan ketuhar konveksi. Namun, sebenarnya cara ini membuang-buang tenaga. Lebih buruk lagi, ia boleh merosakkan kebersihan bilik bersih tersebut.
Itulah sebabnya kami menggunakan cara pemanasan inframerah dalam glovebox. Daripada memanaskan udara, sinar inframerah menggunakan radiasi elektromagnetik untuk memanaskan bahan secara langsung. Gas di sekelilingnya tidak terlibat dalam proses ini.
Cara yang efektif untuk pengeringan “hijau”
Jika anda ingin mencapai proses pengeringan tanpa penggunaan bahan kimia atau bahan bakar yang menghasilkan gas berbahaya, maka sinar inframerah merupakan pilihan yang tepat. Anda tidak perlu menggunakan bahan kimia atau bahan bakar yang boleh menghasilkan emisi berbahaya.
Yang menariknya, pancaran sinar inframerah jarak pendek dan sederhana dapat menembusi bahan tersebut. Ia dapat memicu reaksi pengikatan antara resin atau menghilangkan bahan pelarut dari permukaan wafer dalam masa beberapa saat sahaja. Bukan beberapa jam. Ini benar-benar mengubah kelajuan proses kerja.
Persiapan glovebox yang betul
Memasang elemen-elemen ini ke dalam glovebox bukanlah sesuatu yang mudah. Ia memerlukan ketepatan yang tinggi. Bergantung pada seberapa cepat suhu perlu dinaikkan, kita biasanya menggunakan tiub kuarsa-halogen atau pemancar seramik. Elemen-elemen ini mampu menghasilkan haba yang banyak dalam ruang yang sangat kecil.
Namun, ada satu masalah. Panjang gelombang yang digunakan harus disesuaikan dengan apa yang dapat diserap oleh bahan tersebut. Jika tidak, tenaga tersebut akan dipantulkan kembali seperti cermin.
Kita atasi masalah ini dengan menyesuaikan lapisan pada pemancar tersebut. Dengan cara ini, haba akan diserap oleh wafer, bukan oleh dinding glovebox.
Keseimbangan yang perlu dicapai
Realitinya, elemen inframerah yang berintensiti tinggi menghasilkan haba yang sangat besar. Ya, ia mempercepat proses pengeluaran, tetapi ia juga memberi tekanan besar pada sistem penyejukan glovebox. Jika sistem penyejukan tidak cukup kuat, suhu persekitaran akan naik. Akibatnya, bahagian plastik pada glovebox akan bengkok, atau alarm keselamatan akan berbunyi.
Anda perlu mencari keseimbangan yang tepat antara kuasa yang dihasilkan oleh elemen tersebut dengan kapasiti penyejukan glovebox. Itulah satu-satunya cara untuk memastikan persekitaran tetap stabil dan mengelakkan masalah.