Kimyasal temizleme bölgesinde waferleri ısıtırken aslında ateşle oynuyorsunuz demektir. Havada yanıcı buharlar ve aşındırıcı maddeler bulunur. Bir IR lambasının arızalanması veya radyasyonun uçucu çözücülere çok yakın bir noktaya ulaşması durumunda ani bir yangın meydana gelebilir. Bu gerçekten korkunç bir senaryodur.
Bunu yönetmek için iki şeye odaklanıyoruz: Lambaların nasıl mühürleneceği ve ne kadar boşluk gerektirdiği.
Isının dengelenmesi
Doğru mesafeyi bulmak oldukça zor bir iştir. Sadece tahmin yürütemezsiniz. Eğer lamba çok yakınsa, waferler yanabilir veya daha kötüsü, buharlar alev alabilir. Ama lambayı çok geriye koarsanız, işlem süresi uzar ve üretim hızı düşer.
Lambanın watt değerini ve kimyasal maddenin alevlenme noktasını göz önünde bulundurarak doğru dengeyi bulmaya çalışıyoruz. Amacımız, yüzeye gelen enerjinin patlama noktasının çok altında kalmasını sağlamaktır.
Koruma önlemleri
Standart kuvars tüpleri burada yeterli değildir. Çünkü ortam çok agresiftir. Bunun yerine, kimyasallara karşı dayanıklı, mühürlü kaplamalar kullanıyoruz.
Neden mi? Çünkü asıl sorun burada başlıyor. Kimyasal buharlar elektrotları aşındırır ve bu da genellikle kısa devreye neden olur. “Sıcak bölgeyi” kontrol altında tutmak ve temizleme maddelerinin zarar vermesini engellemek için uygun malzemeler kullanıyoruz.
Tereddütler
İşin gerçeği şu ki: Yarı iletken üretim hatları hız gerektirir; bu yüzden yüksek güçlü IR lambalar tercih edilir. Ancak bu yüksek ısı yoğunluğu bazı sorunları beraberinde getirir. Ne kadar fazla güç kullanılırsa, kimyasal sıvının aşırı ısınmasını engellemek için o kadar büyük bir güvenlik mesafesi gereklidir.
Eğer alan sıkıntınız varsa, yüksek güçlü lambaları oraya yerleştiremezsiniz. Bunun yerine daha düşük güçte daha fazla lamba kullanılır. Böylece ısı yükü yüzeye yayılır ve her şey güvenli bir alanda kalır.
Ve tabii ki, güvenlik açısından bir güvenlik sistemi de kuruyoruz. Eğer soğutma sistemi çalışmayı durdurursa, güç anında kesilir. Böylece ne tehlike ne de yangın olur.