Wafer yüzeyinde, mikroakışkan kanallar, fotoresist profilinde herhangi bir kayma olmasına izin vermez. Yumuşak pişirme işleminde bile sadece bir derecelik bir kayma meydana gelebilir ve bu da çizgi genişliklerinin değişmesine neden olur. Sert pişirme işleminde ise hatalar ortaya çıkar ve bu hatalar ileride mikrokanalları tıkayabilir. Bu yüzden termal parametreleri gerçek bir süreç parametresi olarak ele alan bir lambaya ihtiyaç vardır.
İşte önemli olan noktalar:
Bu mikroakışkan üretim lambalarını, kuvars kapsül içindeki SWIR halojen yayıcıları kullanarak tasarladık. Bunun sonucunda hızlı tepki süresi ve günler boyunca stabil spektral çıkış elde ediliyor. Pişirme bölgesinde wafer seviyesindeki düzenlilik ±0,1°C civarında kalıyor; böylece kritik boyut kontrolü her seferinde tekrarlanabiliyor. Sistem, sıfır parçacık üretimiyle Class 1–100 temiz oda koşullarında çalışacak şekilde tasarlanmıştır ve yerinde izleme özelliğine sahiptir. Kapalı döngü kontrolü için kalibre edilmiş termokupllar kullanılır ve hem yumuşak hem de sert pişirme işlemleri için tekrarlanabilir bir reçete kütüphanesi sağlanır.
Mikroakışkan teknolojisi için bunun avantajları şunlardır: Litografide, desenin bozulmaması için birden fazla ıslak ve kuru işlemden geçilmesi gerekiyor. Lambamız, fotoresistin ihtiyaç duyduğu hassas sıcaklık profiline ulaşır; başlangıçta çözücünün uzaklaştırılmasından son aşamadaki bağlanma işlemine kadar… Aşırı ısınma veya yetersiz ısınma gibi durumlar olmadığından fotoresist yeterince sertleşir. Böylece daha az yeniden işleme gerektiren ürünler elde edilir, verimlilik artar ve işlem süreleri öngörülebilir hale gelir. Hızlı ısınma ve düşük bekleme enerjisi tüketimi sayesinde her wafer için işletim maliyetleri düşer.
Kullanıma başlamadan önce dikkat edilmesi gereken bazı detaylar var:
Montaj sırasında lambanın boyutlarının uygun olması ve konektörlerin uyumluluğunun kontrol edilmesi gerekir; genellikle alet entegrasyonu için 24 V DC kullanılır. SWIR lambaları yüzeyde yüksek sıcaklıklara ulaştığından, termal koruma ve güvenlik önlemleri şarttır. Her 5.000 saatte bir kalibrasyon yapılmalıdır; bu süre zarfında çıkışta %5’ten az bir düşüş olur, ancak ±0,1°C’lik düzenliliği korumak için optik sistemlerin ve sensörlerin düzenli olarak kontrol edilmesi gerekmektedir.