Giữ cho phòng sạch loại Class 100 luôn sạch sẽ
Nếu bạn đang vận hành một phòng sạch loại Class 100, chắc hẳn bạn đã hiểu rõ những khó khăn liên quan đến việc kiểm soát lượng khí thải ra ngoài. Chỉ cần một lượng nhỏ hạt bụi từ các linh kiện gia nhiệt cũng có thể làm hỏng các wafer bán dẫn của bạn. Điều này thật đáng bực mình. Hầu hết các bóng đèn hồng ngoại thông thường đều không thể giải quyết được vấn đề này – chúng sẽ bị hỏng do tác động của nhiệt độ cao, và từ đó tạo ra những hạt bụi vi mô ở những nơi mà chúng ta không mong muốn.
Chúng tôi đã tìm ra cách để ngăn chặn điều này. Chúng tôi sử dụng thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao, cùng lớp phủ phản chiếu ánh sáng bằng vàng. Cách này rất đơn giản, nhưng hiệu quả.
Tại sao lại chọn vàng?
Không phải vì vàng trông sang trọng. Chúng tôi phủ một lớp mỏng vàng lên bề mặt sau của thạch anh, vì vàng có khả năng phản chiếu ánh sáng hồng ngoại rất tốt – khoảng 98% ánh sáng sẽ bị phản chiếu lại.
Thay vì để nhiệt lượng lan tỏa ra mọi hướng, chúng tôi tập trung nhiệt lượng vào vị trí cần thiết. Nhờ đó, bạn không cần lãng phí năng lượng, và hệ thống điều hòa không khí cũng không cần phải hoạt động quá tải để giữ cho phòng mát. Ngoài ra, bạn cũng có thể đạt được nhiệt độ mong muốn nhanh hơn, mà không cần tăng công suất đèn lên mức quá cao.
Về lớp phủ vàng và thạch anh
Chúng tôi vẫn sử dụng thạch anh có độ tinh khiết cao, vì thạch anh rẻ tiền thì dễ bị hỏng. Thạch anh có thể chịu được tác động của nhiệt độ cao. Bạn có thể bật/tắt nguồn điện mà không làm thạch anh bị nứt.
Đối với lớp phủ vàng, chúng tôi sử dụng phương pháp phủ chân không để cố định lớp vàng lên bề mặt thạch anh. Việc này giúp đảm bảo rằng lớp vàng sẽ không bị bong tróc. Nếu lớp phủ này bị bong tróc, các hạt bụi sẽ tích tụ trên bề mặt silic, và đó là điều cuối cùng mà chúng ta muốn xảy ra.
Cách sử dụng
Những bóng đèn này có thể thay thế ngay cho các bóng đèn dùng trong quy trình sấy khô. Bạn có thể kết nối chúng trực tiếp vào bộ điều khiển hiện có của mình.
Nhưng có một điều cần lưu ý: hãy kiểm soát chặt chẽ mức độ nhiệt độ. Vì lớp phủ vàng giúp tập trung nhiệt lượng vào vị trí cần thiết, nên phía trước bóng đèn sẽ trở nên rất nóng. Hãy đảm bảo rằng các thiết bị bảo vệ và quạt làm mát hoạt động tốt. Bạn không muốn nhiệt lượng quá cao làm hỏng các cảm biến xung quanh đâu.