聚酰亚胺烘烤红外灯

在光刻工艺中，聚酰亚胺烘烤环节决定了精细金属线条的尺寸精度。即使晶圆的温度变化仅为5°C，也足以使关键尺寸发生纳米级的变化——这足以导致线路结构出现缺陷。为此，我们设计了专门的红外灯，以消除这种误差。 技术上最重要的是什么？ 我们使用的是能够被聚酰亚胺吸收的短波红外光源。其热响应速度极快，只需几分...