ウェーハツール用温度センサー
ヒーター要素がウェーハを台無しにするのをやめましょう。
クラス100のクリーンルームを運用している方なら、その悩みはよくご存知でしょう。たった一つの微小な粒子がウェーハに付着するだけで、生産効率が急激に低下してしまいます。
問題の原因は通常、ヒーター要素です。一般的なランプでは、最も清潔であるべき...
ウェーハ用高精度IRセンサー
なぜ、鉛フリーチップの加工に赤外線加熱を採用するのか
半導体業界は、ようやく古い方式の対流式オーブンから脱却しつつあります。私たちの多くが赤外線加熱に切り替えているのです。これは単に「環境に優しい」とか「鉛フリー」であるという規制に従うためだけではありません。実際には、熱の作用原理が異なるからです...
MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター
MEMSセンサーワイヤーを乾燥させる際には、微妙なバランスが求められます。作業を行うためには十分な熱が必要ですが、その熱は均一に分布していなければなりません。もしわずかな水分が残ったり、熱が不均一に作用したりすると、センサーの薄膜が破損したり、粘着してしまったりします。これは誰も望まない状況です。...
スマートセンサーパッケージング・赤外線
スマートIRを活用したチップパッケージングにおける炭素削減
半導体の製造には多くのエネルギーが必要です。センサーパッケージングの硬化や乾燥工程を見てみると、昔ながらの対流式オーブンが使われており、巨大な金属箱に熱を送り込んでいるだけです。そのエネルギーのほとんどは部品には届かず、部屋全体を温めるだ...
水素センサー製造用ヒーター
ガラスの破片を防ぐ:水素センサーを清潔に保つ方法 水素センサーの製造に携わったことがある人なら、その恐ろしい状況をご存知でしょう。
高負荷の状態で作業している最中に、石英ランプが壊れてしまいます。単に電球が切れるだけではありません。それは大惨事です。ガラスの破片や化学物質がウェーハに降り注ぎ、結果...