ポリイミド焼成用赤外線ランプ

リソグラフィーラインにおいて、ポリイミドの加熱処理は、微細な金属配線の寸法が決定される重要な工程です。ウェハーの温度が5℃変動するだけで、重要な寸法が数ナノメートルも変わってしまい、それによって配線が正常に機能しなくなってしまいます。そこで、私たちはそのようなばらつきを排除するために、ポリイミドの...