半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

ウェーファーにより多くの熱を与える方法（無駄なエネルギー消費を避けて） クリーンルーム内でウェーファーを加熱する際、わずかなエネルギーも貴重です。最も厄介なのは、加熱されたエネルギーが無駄に失われてしまうことです。ほとんどの場合、その赤外線エネルギーはウェーファーに届く前に、ケースに吸収されてしま...