高価な装置が自ら過熱するのを防ぐ ほとんどの標準的な加熱要素は、エネルギーをあらゆる方向に放出してしまいます。それを狭いクリーンルーム内に設置すると、「過熱」が起こってしまいます。つまり、高価な装置が自分自身が生み出す無駄なエネルギーを吸収してしまうのです。その結果、装置の外殻が触れるのも危険なほ...

クラス100のクリーンルームで、乱れを生じることなく加熱するにはどうすればよいか？ 正直言って、クラス100のクリーンルームにヒーターを設置するのは、まるで手術室にキラキラした粒子を持ち込むようなものです。非常にリスクが高いのです。ほとんどの一般的な加熱素子は、ISO 5基準の環境では使えません。...

ウェーファーにより多くの熱を与える方法（無駄なエネルギー消費を避けて） クリーンルーム内でウェーファーを加熱する際、わずかなエネルギーも貴重です。最も厄介なのは、加熱されたエネルギーが無駄に失われてしまうことです。ほとんどの場合、その赤外線エネルギーはウェーファーに届く前に、ケースに吸収されてしま...

なぜクリーンルーム用の赤外線ヒーターは、熱い空気を粉塵の中に循環させてしまうのか？ 半導体の高度な加工では、時間は非常に重要です。ウェーハの乾燥や硬化処理を行う際、従来の熱風対流式オーブンでは処理速度が遅く、制御も困難です。また、実際に加熱が必要な部分だけでなく、チャンバ全体を加熱するため、エネル...

はじめに 半導体ウェハを扱う際には、何があっても手を抜くことはできません。汚染の防止や正確な温度管理は、単に望ましいだけではなく、絶対に必要なことです。 では、実際の問題は何でしょうか？つまり、供給されるエネルギーがすべて、必要な場所で有効な熱に変換されるようにするにはどうすればよいのでしょうか？...