なぜ、鉛フリーのバイオセンサーには赤外線を利用するようにしたのか バイオセンサーを作る際、適切な温度を維持するのは非常に難しい。ポリマーを硬化させ、生物学的な層を固定する必要があるが、強すぎる加熱を行うと基板が破壊されてしまう。 私たちが赤外線ランプを使い始めたのは、その点が違うからです。赤外線ラ...

バイオセンサーのための適切な温度管理 もし、バイオセンサーの製造に携わったことがあるなら、その苦労はよく理解できるでしょう。わずかな温度の上昇でも、繊細な基板上の構造が壊れてしまいます。まさに悪夢です。現代のデータ駆動型の製造環境では、単に「温度が適切であってほしい」と願うだけでは不十分です。実際...

ファブ内での二酸化炭素削減：なぜUHP赤外線ランプが効果的なのか 正直言って、半製品段階で炭素中立を実現するのは非常に難しい。問題は主に加熱の過程にある。もし依然として従来の抵抗式炉を使っているのであれば、わずかなウェーハを温めるために部屋全体を温める必要があり、これは莫大なエネルギーの無駄遣いに...

半導体製造工場の効率化：なぜ認証済みの赤外線硬化装置が重要なのか 正直に言えば、半導体製造工場は莫大なエネルギーを消費する場所です。カーボンニュートラルを実現したいと思うなら、硬化処理の段階を無視してはいけません。長年にわたり、私たちは従来の対流式オーブンを使ってきましたが、これはまるで巨大なヒー...

高性能なIRランプを「オーブン」状態にしないための対策 半導体製造において、必要な熱密度を得るためには、高出力のIRランプが不可欠です。しかし、このランプには問題点があります。それは、熱があらゆる方向に放出されてしまうということです。 もしそのエネルギーを適切な方向に向ける手段がなければ、装置の内...

熱を無駄にしないで：なぜ金メッキされた反射板が重要なのか シリコンウェーハを加熱するとき、1ワットも無駄にしてはいけません。もし一般的なアルミニウム製の反射板を使用している場合、実際には思っている以上に多くのエネルギーが失われています。そのエネルギーは金属に吸収されたり、誤った方向に散乱したりして...

ウェーハ加工における熱の無駄遣いをやめましょう。 シリコンウェーハを加熱するとき、1ワットでも大切です。しかし、問題は、一般的な石英ランプには漏れがあるということです。大量のエネルギーが後部や側面から漏れ出てしまい、加工には全く役立ちません。 そこで、私たちは金めっきされたツインチューブ型のランプ...

バーストランプによって生産効率が低下するのを防ぐには もし、高負荷の半導体工場で働いたことがあるなら、その状況はよくわかるでしょう。クォーツ管が破裂してしまうのです。それは本当に最悪の事態です。 単に熱が失われるだけではありません。ガラスの破片や化学物質がウェーハの上に降り注ぎます。一度破裂すれば...

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つには もしクラス100のクリーンルームを運営しているのであれば、ガス放出という問題がどれほど厄介かご存知でしょう。ヒーター要素からわずかな粒子が飛び出すだけで、半導体ウエハーが台無しになってしまいます。本当に厄介です。一般的な赤外線ランプでは、この...

半導体製造工場で炭素排出を削減するには、背後でエネルギーを無駄にしている要因を見極める必要があります。その中でも最も大きな問題は、物を加熱する方法です。 ほとんどの短波赤外線ランプは、200nm未満の波長の光を放出する傾向があります。これにより、空気中の酸素がオゾンに変わってしまいます。クリーンル...

クラス100のクリーンルームで、乱れを生じることなく加熱するにはどうすればよいか？ 正直言って、クラス100のクリーンルームにヒーターを設置するのは、まるで手術室にキラキラした粒子を持ち込むようなものです。非常にリスクが高いのです。ほとんどの一般的な加熱素子は、ISO 5基準の環境では使えません。...

なぜ半導体の乾燥において熱風ではなく赤外線を利用するようにしたのか？ もし今も半導体の仕上げ工程で熱風を使っているのであれば、それは単に待つだけの作業に過ぎません。 どのように動作するか考えてみてください。部品が乾き始める前に、チャンバー内の空気全体を加熱しなければなりません。これは非常に時間がか...

熱の無駄遣いをやめましょう：なぜ金メッキされた反射板が重要なのか シリコンウェーハを加熱する際、どれだけエネルギーを効率的に利用できるかが重要です。1ワットでも無駄にしてはいけません。しかし、通常の反射板を使うと、高価なエネルギーの多くが機械のフレーム内に逃げてしまいます。これは明らかな無駄遣いで...

半導体用スペアパーツのコスト障壁を打ち破る ご存知の通り、ASML製のランプが寿命を迎えると、生産ライン全体が停止してしまいます。そしてOEMから見積もりをもらうと、心配になりますよね。 みんなが疑問に思っているのは、国産の赤外線加熱ランプで本当にその役割を果たせるのか、ということです。機械の精密...

リソグラフィーラインにおいて、ポリイミドの加熱処理は、微細な金属配線の寸法が決定される重要な工程です。ウェハーの温度が5℃変動するだけで、重要な寸法が数ナノメートルも変わってしまい、それによって配線が正常に機能しなくなってしまいます。そこで、私たちはそのようなばらつきを排除するために、ポリイミドの...

ウェハー上では、マイクロ流体チャネルのおかげで、フォトレジストの形状が変化する余地がありません。ソフトベイクの場合、わずか1度の温度変動だけで線幅が変わってしまいます。一方、ハードベイクの場合は、残留物が発生し、それが後にマイクロチャネルを塞ぐ原因となります。したがって、熱条件を単なる推定値ではな...

フリップチップボンディングでは、熱的条件が変わるとすぐに問題が発生します。どこかに低温域があると、アンダーフィル内に空洞ができてしまいます。また、温度が過剰に上昇すると、はんだバンプの溶融が不均一になります。そのため、工程中ずっと、正確な位置に熱を当て続ける必要があります。 重要なのは何か 当社の...

リソグラフィーの工程において、フォトレジストの処理時の温度プロファイルは、どうしても調整不可能な要素です。ソフトベイクの際に温度が変動すると、溶剤の蒸発も不安定になります。ハードベイク時に熱点ができると、重要な寸法が歪んでしまいます。これらはどちらも歩留まりや処理時間に悪影響を与えます。私たちは、...

ファブでは、ソフトベイクやハードベイクは単なる加熱工程に過ぎないわけではありません。それらは、ウェーハの寸法や欠陥密度をコントロールするための重要な要素です。わずか0.5度の偏差でも、ウェーハの重要な寸法が変わってしまいますし、微粒子の存在があれば、ウェーハ全体がダメになってしまうこともあります。...