産業用ウェーハ乾燥システムヒーター

ウェハーは最終すすぎ工程を通過し、時計が動き始める。乾燥サイクルが躊躇すると、ウォーターマーク、パターン崩壊、そして露光・焼成後数時間経ってから現れるフォトレジスト欠陥を賭けることになる。この時点で歩留まりは既に失われている。大量生産ファブにおいて乾燥は受動的な工程ではなく、制御された熱イベントで...