ファブ化学キャビネットヒーター

ファブの現場では、フォトレジストのベイク処理は選択肢ではなく、必須の工程です。±0.5℃の温度変動だけで重要な寸法が変わってしまい、たった一つの粒子でもウェーハを破壊してしまう可能性があります。化学薬品を保管するキャビネットのヒーターは、試薬の温度を安定かつ再現可能に保つ必要があり、同時に汚染源に...