フォトレジスト焼成ランプ

リソグラフィーの工程において、フォトレジストの処理時の温度プロファイルは、どうしても調整不可能な要素です。ソフトベイクの際に温度が変動すると、溶剤の蒸発も不安定になります。ハードベイク時に熱点ができると、重要な寸法が歪んでしまいます。これらはどちらも歩留まりや処理時間に悪影響を与えます。私たちは、...