なぜバーストランプは厄介なのか（そして、それを防ぐ方法） もし、高負荷の製造環境で働いたことがあるなら、そのストレスはよく分かるでしょう。装置を限界まで使い続けていると、すべてが順調に動いているように見えますが、いつ故障するかわかりません。 赤外線ランプが破損すると、単なる停止問題では済みません。...

バーストランプによって生産効率が低下するのを防ぐには もし、高負荷の半導体工場で働いたことがあるなら、その状況はよくわかるでしょう。クォーツ管が破裂してしまうのです。それは本当に最悪の事態です。 単に熱が失われるだけではありません。ガラスの破片や化学物質がウェーハの上に降り注ぎます。一度破裂すれば...

ヒーター要素がウェーハを台無しにするのをやめましょう。 クラス100のクリーンルームを運用している方なら、その悩みはよくご存知でしょう。たった一つの微小な粒子がウェーハに付着するだけで、生産効率が急激に低下してしまいます。 問題の原因は通常、ヒーター要素です。一般的なランプでは、最も清潔であるべき...

なぜ、鉛フリーチップの加工に赤外線加熱を採用するのか 半導体業界は、ようやく古い方式の対流式オーブンから脱却しつつあります。私たちの多くが赤外線加熱に切り替えているのです。これは単に「環境に優しい」とか「鉛フリー」であるという規制に従うためだけではありません。実際には、熱の作用原理が異なるからです...

MEMSセンサーワイヤーを乾燥させる際には、微妙なバランスが求められます。作業を行うためには十分な熱が必要ですが、その熱は均一に分布していなければなりません。もしわずかな水分が残ったり、熱が不均一に作用したりすると、センサーの薄膜が破損したり、粘着してしまったりします。これは誰も望まない状況です。...

300mmラインでは、焼成温度が0.5°C変動するだけで、回路の寸法に影響が出てしまいます。また、粒子の発生があると、一括して製品が不良になってしまいます。中波赤外線ヒーターを使えば、ソフトベイクやハードベイクの際の温度の不安定さを解消できます。これらの工程では、フォトレジストの特性を安定させ、再...

ファブでは、ソフトベイクやハードベイクは単なる加熱工程に過ぎないわけではありません。それらは、ウェーハの寸法や欠陥密度をコントロールするための重要な要素です。わずか0.5度の偏差でも、ウェーハの重要な寸法が変わってしまいますし、微粒子の存在があれば、ウェーハ全体がダメになってしまうこともあります。...