半導体用スペアパーツのコスト障壁を打ち破る ご存知の通り、ASML製のランプが寿命を迎えると、生産ライン全体が停止してしまいます。そしてOEMから見積もりをもらうと、心配になりますよね。 みんなが疑問に思っているのは、国産の赤外線加熱ランプで本当にその役割を果たせるのか、ということです。機械の精密...

ファブ内では、ソフトベイクは単なる「ウォームアップ」ではありません。それは、線幅を制御するための重要な条件なのです。温度を0.5°C変えるだけで、ドーズウィンドウが変わってしまいます。ウェハ上のホットスポットがあると、エッチングの過程で欠陥が生じてしまいます。キヤノンのリソグラフィ用ヒーターは、シ...