クラス100のクリーンルームで、乱れを生じることなく加熱するにはどうすればよいか？ 正直言って、クラス100のクリーンルームにヒーターを設置するのは、まるで手術室にキラキラした粒子を持ち込むようなものです。非常にリスクが高いのです。ほとんどの一般的な加熱素子は、ISO 5基準の環境では使えません。...

なぜクリーンルーム用の赤外線ヒーターは、熱い空気を粉塵の中に循環させてしまうのか？ 半導体の高度な加工では、時間は非常に重要です。ウェーハの乾燥や硬化処理を行う際、従来の熱風対流式オーブンでは処理速度が遅く、制御も困難です。また、実際に加熱が必要な部分だけでなく、チャンバ全体を加熱するため、エネル...