高価な装置が自ら過熱するのを防ぐ ほとんどの標準的な加熱要素は、エネルギーをあらゆる方向に放出してしまいます。それを狭いクリーンルーム内に設置すると、「過熱」が起こってしまいます。つまり、高価な装置が自分自身が生み出す無駄なエネルギーを吸収してしまうのです。その結果、装置の外殻が触れるのも危険なほ...

はじめに 半導体ウェハを扱う際には、何があっても手を抜くことはできません。汚染の防止や正確な温度管理は、単に望ましいだけではなく、絶対に必要なことです。 では、実際の問題は何でしょうか？つまり、供給されるエネルギーがすべて、必要な場所で有効な熱に変換されるようにするにはどうすればよいのでしょうか？...