省エネ型ウェーハヒーター

なぜバーストランプは厄介なのか（そして、それを防ぐ方法） もし、高負荷の製造環境で働いたことがあるなら、そのストレスはよく分かるでしょう。装置を限界まで使い続けていると、すべてが順調に動いているように見えますが、いつ故障するかわかりません。 赤外線ランプが破損すると、単なる停止問題では済みません。...