なぜ、鉛フリーチップの加工に赤外線加熱を採用するのか 半導体業界は、ようやく古い方式の対流式オーブンから脱却しつつあります。私たちの多くが赤外線加熱に切り替えているのです。これは単に「環境に優しい」とか「鉛フリー」であるという規制に従うためだけではありません。実際には、熱の作用原理が異なるからです...

リソグラフィーの工程において、90℃のソフトベイクというのは、単なる設定値に過ぎません。それは、形状を維持できるフォトレジストの状態と、廃棄されるウェーハの状態を分ける一線なのです。 チャックの温度が0.5℃だけ変動しても、CDの均一性が崩れ、線幅の制御が規格外になってしまいます。この業界において...