UHP 超高純度 ヒーターランプ

ファブ内での二酸化炭素削減：なぜUHP赤外線ランプが効果的なのか 正直言って、半製品段階で炭素中立を実現するのは非常に難しい。問題は主に加熱の過程にある。もし依然として従来の抵抗式炉を使っているのであれば、わずかなウェーハを温めるために部屋全体を温める必要があり、これは莫大なエネルギーの無駄遣いに...