工場乾燥設備のエネルギー診断

なぜ半導体製造工場は、従来の大型オーブンを使わずに赤外線硬化処理を採用するのか？ 正直に言えば、対流式オーブンは非効率的です。多くの工場では、わずかなウェハーを乾燥させるために、部屋全体の空気を温めるという巨大な強制送風システムが使われています。これは時間がかかり、無駄も多い。まるで家全体を温めて...