なぜIR硬化に金製の反射板を使用するのか 半導体業界では、鉛を含まない、環境に優しい製品の開発が進められています。理論上は素晴らしそうですが、実際の製造現場では大変な問題があります。 一般的な対流式オーブンでは不十分です。部品に触れる前に、空気を加熱するのに多くの時間がかかります。これはエネルギー...

ファブ内では、ソフトベイクは単なる「ウォームアップ」ではありません。それは、線幅を制御するための重要な条件なのです。温度を0.5°C変えるだけで、ドーズウィンドウが変わってしまいます。ウェハ上のホットスポットがあると、エッチングの過程で欠陥が生じてしまいます。キヤノンのリソグラフィ用ヒーターは、シ...