持続可能なファブ製造ソリューション

装置の壁を温めるのはやめて、ウェーハ自体を温めましょう。 ファブリケーション装置の側面に触れて、その熱を感じたことはありますか？それは厄介であり、安全上のリスクもあります。正直、無駄な行為です。 一般的な加熱素子は、熱をあちこちに放出してしまいます。エネルギーが四方八方に散逸し、装置の内壁が巨大な...