ウェーハツール用温度センサー

ヒーター要素がウェーハを台無しにするのをやめましょう。 クラス100のクリーンルームを運用している方なら、その悩みはよくご存知でしょう。たった一つの微小な粒子がウェーハに付着するだけで、生産効率が急激に低下してしまいます。 問題の原因は通常、ヒーター要素です。一般的なランプでは、最も清潔であるべき...