MEMSセンサーワイヤーを乾燥させる際には、微妙なバランスが求められます。作業を行うためには十分な熱が必要ですが、その熱は均一に分布していなければなりません。もしわずかな水分が残ったり、熱が不均一に作用したりすると、センサーの薄膜が破損したり、粘着してしまったりします。これは誰も望まない状況です。...

なぜ半導体製造工場は、従来の大型オーブンを使わずに赤外線硬化処理を採用するのか？ 正直に言えば、対流式オーブンは非効率的です。多くの工場では、わずかなウェハーを乾燥させるために、部屋全体の空気を温めるという巨大な強制送風システムが使われています。これは時間がかかり、無駄も多い。まるで家全体を温めて...

ウェハーは最終すすぎ工程を通過し、時計が動き始める。乾燥サイクルが躊躇すると、ウォーターマーク、パターン崩壊、そして露光・焼成後数時間経ってから現れるフォトレジスト欠陥を賭けることになる。この時点で歩留まりは既に失われている。大量生産ファブにおいて乾燥は受動的な工程ではなく、制御された熱イベントで...