真空チャンバー内で適切な温度を維持するには もし、インダストリー4.0向けのスマートファブを構築しているのであれば、従来のアナログ式の加熱方法ではもはや十分ではないことに気づいているはずです。正確なデータが必要です。チャンバー内で何が起きているのかを正確に把握する必要があります。 問題は、真空状態...

真空状態での適切な加熱：IRを活用する方法 半導体ウエハを扱う際、最も避けたいのは、ほこりや不要な分子が製品の品質を損なうことです。しかし、やはり加熱は必要です。問題は、真空状態では熱風を送り込むことができないという点です。空気がないのです。 そこで役立つのが、真空環境に適したIRヒーターです。周...