低温システムサポートヒーター

ファブフロアでは、超冷却プロセスウィンドウに対して、ドリフトしない熱的サポートが必要です。サポートヒーターがスリップすると、フォトレジストプロファイルの崩壊、CDの変動、誰もが望まない計画外のツールダウンタイムのリスクがあります。私たちは、先進的なウェーハ処理の熱的管理のために、安定した均一な熱を...