ウェーハ加工における熱の無駄遣いをやめましょう。
シリコンウェーハを加熱するとき、1ワットでも大切です。しかし、問題は、一般的な石英ランプには漏れがあるということです。大量のエネルギーが後部や側面から漏れ出てしまい、加工には全く役立ちません。
そこで、私たちは金めっきされたツインチューブ型のランプを使用します。チューブの裏側に高純度の金の層を塗ることで、ランプを熱を集中させるためのスポットライトのようなものに変えるのです。
なぜ金なのか？
それは、赤外線の特性に関係しています。金はアルミニウムや研磨された鋼鉄よりもはるかに効果的に赤外線を反射します。このコーティングは鏡のような役割を果たし、熱があらゆる方向に散乱するのではなく、前方に向かって反射されます。その結果、ウェーハ表面に集中した熱が届くのです。最良の点は、電力を増やすことなく、より強い熱流を得られるということです。つまり、既に支払っているエネルギーをより効率的に利用できるのです。
注意点と対処法
ツインチューブ型のランプは、より小さなスペースに多くのワット数を詰め込むことができるため、非常に優れています。単一チューブ型のランプよりも、より多くの放射表面が得られるため、効率性が向上します。
しかし、代償もあります。大量のエネルギーが発生するため、端末部分でかなりの熱が生じます。冷却システムが十分でない場合、コネクタが壊れてしまう可能性があります。必ず、最大出力で使用する前に空気の流れを確認してください。これは、トラブルを防ぐための簡単なチェックです。
実際の使用法
ウェーハ全体に均一な温度を得たい場合や、迅速に温度を上げたい場合には、このランプが最適です。金のコーティングによりエネルギーが集中されるため、ランプを対象物に近づけることができ、よりコンパクトな装置を作成できます。
既存の設備にも容易に取り付けられますが、熱分布が変わることに注意してください。より多くのエネルギーがウェーハに届くため、PIDコントローラーの調整が必要になるかもしれません。