半導体製造工場で炭素排出を削減するには、背後でエネルギーを無駄にしている要因を見極める必要があります。その中でも最も大きな問題は、物を加熱する方法です。
ほとんどの短波赤外線ランプは、200nm未満の波長の光を放出する傾向があります。これにより、空気中の酸素がオゾンに変わってしまいます。クリーンルームではオゾンは大敵です。それは汚染物質だからです。そのため、ランプが引き起こす問題を解決するために、HVACや除去システムに多くのエネルギーを費やさざるを得ません。
これはエネルギーの無駄遣いです。私たちはより良い方法を見つけました。
鍵はフィルターにあります。
専用の石英製のケースや内部コーティングを使って、真空紫外線をブロックします。このようにして、特定の波長の光を遮断することで、オゾンを生成することなく、必要な熱を得ることができます。
単純な変更ですが、その効果は大きいです。空気フィルターシステムの負担も大幅に軽減されます。排気システムが大量のエネルギーを消費しなくなるため、工場の炭素排出量も減少します。
迅速な加熱、そして何のデメリットもない。
速度を犠牲にする必要はありません。これらのランプは、ウェーハの加熱や硬化に不可欠な高い熱流量を発生させます。また、既存の加熱炉を改造する必要もありません。ただし、注意点があります。電力密度には注意が必要です。
これらの高ワット数のランプは、熱を急速に集中させます。もし筐体がその温度上昇に耐えられない場合、装置が変形してしまう可能性があります。スイッチを入れる前に、冷却ファンがそのランプのワット数に適しているか確認してください。
「グリーン」を実際に実現する。
オゾンフリー技術を採用すれば、過度なO3モニタリングや特殊な換気システムの管理をする必要がなくなります。これにより、加熱装置の物理的な負荷が軽減され、全体の運用がより効率的になります。
「グリーンファクトリー」の認証を取得するには、たくさんの書類作業や細かい調整が必要です。しかし、これは違います。問題を解決するためにエネルギーを浪費するのではなく、問題を最初から防ぐのです。