半導体オーブン加熱素子

ファブフロアにおいて、フォトレジストのベークは単なる「加熱工程」ではない。寸法管理そのものである。 ソフトベークやハードベークの温度をわずか2℃変えるだけでCD（クリティカルディメンション）は目標から外れ、ラインは停止する。そのため、我々はファブの要求する厳密な管理でプロセス温度を維持できるオーブ...