クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つには
もしクラス100のクリーンルームを運営しているのであれば、ガス放出という問題がどれほど厄介かご存知でしょう。ヒーター要素からわずかな粒子が飛び出すだけで、半導体ウエハーが台無しになってしまいます。本当に厄介です。一般的な赤外線ランプでは、この問題を解決することはできません。熱によって破損し、望ましくない場所に微細な粒子が飛び散ってしまいます。
私たちは、その問題を解決する方法を見つけました。高純度の合成石英と、金を用いた反射コーティングを使用しています。シンプルですが、効果的です。
なぜ金を使うのか？
見た目のためではありません。石英の裏側に薄い金の層を塗るのは、金が赤外線を非常に効率的に反射するからです。正確に言えば、約98％を反射します。
熱があちこちに散らばるのを防ぎ、すべてのエネルギーを目的の方向に向けることができます。これにより、エネルギーの無駄遣いがなくなり、空調システムも過負荷になることがありません。また、ワット数を上げる必要もなく、迅速に所定の温度に到達できます。
ゴミやガラスの問題
安価なガラスはすぐに壊れてしまいますが、高純度の石英なら耐久性があります。電源を切ったり付けたりしても、熱衝撃で割れることはありません。
金については、真空蒸着法を用いて石英に固定します。この処理を行う理由は、コーティングが剥がれると、シリコン上に粒子が残ってしまうからです。それは絶対に避けたいことです。この処理により、金がしっかりと固定されます。
使用方法
これらのランプは、硬化や乾燥の工程に代わって使用できます。既存のコントローラーに直接接続すればよいのです。
ただし、注意点があります。熱密度をしっかりと管理する必要があります。金のコーティングによってほとんどのエネルギーが前方に向けられるため、ランプの前端部分が透明なランプよりもずっと高温になります。
したがって、シールドや冷却ファンが適切に機能しているかを確認してください。集中した熱によって、近くのセンサーが壊れてしまう可能性があります。