晶圆加热的安全距离

在化学清洗区域内对晶圆进行加热时，其实就是在玩火。空气中充满了易燃气体和腐蚀性物质。一旦红外灯出现故障，或者有辐射泄漏到易挥发的溶剂附近，就很可能引发火灾。这真是个可怕的情景。 为了解决这个问题，我们重点关注两件事：如何妥善密封这些灯，以及它们需要多大的间距。 平衡热量 找到合适的距离其实相当困难...