আপনার হিটিং এলিমেন্টগুলোকে আপনার ওয়েফারগুলোকে নষ্ট করতে দেবেন না।
যদি আপনি ক্লাস ১০০ ক্লিনরুম ব্যবহার করেন, তাহলে আপনি ইতিমধ্যেই এই সমস্যাটি সম্পর্কে জানেন। ওয়েফারের উপর একটি সূক্ষ্ম কণা পড়লেই আপনার উৎপাদন ক্ষমতা কমে যায়।
এর কারণ হলো হিটিং এলিমেন্টগুলো। বেশিরভাগ সাধারণ ল্যাম্পগুলো ঠিক সেই সময়েই গ্যাস নির্গত করে বা ছোট ছোট ধূলিকণা ছড়িয়ে দেয়; অথচ ঠিক সেই সময়েই ল্যাম্পগুলোকে সবচেয়ে পরিষ্কার অবস্থায় থাকা দরকার। এই সমস্যা সমাধান করার জন্য আমরা আমাদের IR ল্যাম্পগুলোতে উচ্চ-বিশুদ্ধতার সিন্থেটিক কোয়ার্টজ ব্যবহার করেছি।
কেন কোয়ার্টজ গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা প্রায় শূন্য অশুদ্ধি সম্পন্ন ফিউজড সিলিকা ব্যবহার করি। কেন? কারণ এটি ল্যাম্পটিকে ধাতব আয়ন নির্গত করা বা গরম হওয়ার সময় কণা ছড়ানো থেকে রোধ করে।
কোয়ার্টজকে টাঙ্গস্টেন ফিলামেন্টের জন্য একটি “সীল” হিসেবে ভাবা যেতে পারে। আমরা সাধারণ অ্যাসেম্বলিগুলোতে ব্যবহৃত অর্গানিক গ্লু ও সস্তা সিরামিকগুলো ব্যবহার করি না। ফলে ভ্যাকুয়ামে ল্যাম্পগুলো চালু করার সময় কোনো “ধোঁয়া” বা গ্যাস নির্গত হয় না। এটা খুবই কার্যকর।
যেখানে প্রয়োজন সেখানেই তাপ সরবরাহ করা হয়।
ওয়েফার তৈরিতে দ্রুত তাপ সরবরাহ করা প্রয়োজন; আর পুরো পৃষ্ঠে তাপমাত্রা সমান রাখা দরকার।
আমাদের IR ল্যাম্পগুলো শর্টওয়েভ স্পেকট্রামে শক্তি সরবরাহ করে। ওয়েফারের চারপাশের বাতাসকে গরম করার পরিবর্তে তাপটি সরাসরি সিলিকন সাবস্ট্রেটে পৌঁছায়। এটা খুবই দ্রুত হয়। আর এর ফলে PID কন্ট্রোলটি আরও কার্যকর হয়।
সমস্যাগুলো ও তার সমাধান
ভালো খবর হলো, এগুলো সহজেই প্রতিস্থাপন করা যায়। আপনাকে ল্যাম্পগুলো লাগানোর পদ্ধতি বা হার্ডওয়্যারগুলো পুনর্নকশা করার দরকার নেই।
কিন্তু সমস্যা হলো, এই ল্যাম্পগুলো অনেক তাপ উৎপন্ন করে। এর ফলে কুলিং সিস্টেমগুলোতে চাপ পড়ে। যদি আপনার কুলিং সিস্টেমটি যথেষ্ট শক্তিশালী না হয়, তাহলে ল্যাম্পটি অতিরিক্ত গরম হয়ে যাবে। এর ফলে ফিলামেন্টগুলো দ্রুত নষ্ট হয়ে যাবে।
কিছু পরামর্শ:
প্রতি ৫০০ ঘণ্টা অন্তর রিফ্লেক্টরটির অ্যালাইনমেন্ট পরীক্ষা করুন। আয়নার কোণে সামান্য পরিবর্তনও গরম জায়গা তৈরি করতে পারে; আর এটাই পুরো ব্যাচটিকে নষ্ট করার কারণ হতে পারে।
আর, কোয়ার্টজ পরিষ্কার করার সময় ইলেকট্রনিক-গ্রেডের আইসোপ্রোপাইল অ্যালকোহল ব্যবহার করুন। অন্য কিছু ব্যবহার করলে কাঁচে অবশিষ্টাংশ থেকে যাবে; আর তাহলে আপনাকে আবার শুরু থেকে কাজ করতে হবে।