دیگر اجازه ندهید که عناصر گرمایشی، ویفرهای شما را خراب کنند!
اگر از اتاقهای تمیز در سطح کلاس ۱۰۰ استفاده میکنید، قطعاً با این مشکل آشنا هستید. حتی یک ذره ریز نیز میتواند روی ویفر بیفتد و در نتیجه باعث کاهش کیفیت ویفرها شود.
مشکل معمولاً از عناصر گرمایشی نشأت میگیرد؛ اکثر لامپهای معمولی، در همان لحظاتی که باید کاملاً تمیز باشند، گازهایی تولید میکنند یا ذرات کوچکی را از خود دفع میکنند. ما تصمیم گرفتیم این مشکل را با استفاده از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا برای لامپهای مادون قرمز برطرف کنیم.
چرا کوارتز اهمیت دارد؟
ما از سیلیکا مذاب با خلوص تقریباً صفر استفاده میکنیم؛ چرا؟ چون این ماده مانع از ترشح یونهای فلزی یا ذرات کوچک توسط لامپ میشود. میتوانید کوارتز را به عنوان یک محافظ محکم برای رشتههای تونگستن در نظر بگیرید. همچنین، از چسبهای آلی و سرامیکهای ارزانقیمتی که در لامپهای معمولی استفاده میشود، خودداری کردیم. در نتیجه، وقتی این لامپها را در فضای خلا روشن میکنید، دیگر هیچ دود یا گازی تولید نخواهد شد.
گرما را در جایی تولید کنید که واقعاً نیاز دارید
در ابزارهای مربوط به ویفرها، لازم است که دما به سرعت بالا رود و در سراسر سطح ویفر یکنواخت باشد. لامپهای مادون قرمز ما، انرژی را در طیف موج کوتاه تولید میکنند؛ بنابراین، گرما مستقیماً به سطح سیلیکون منتقل میشود. این کار بسیار سریع انجام میشود؛ و این امر باعث میشود کنترل دما دقیقتر شود.
مشکلات و راهحلهای آنها
خبر خوب این است که این لامپها جایگزین مناسبی برای لامپهای معمولی هستند؛ لازم نیست که با قطعات مربوط به نصب لامپها سروکار داشته باشید یا سختافزار را دوباره طراحی کنید.
اما مشکل اینجاست که این لامپها دارای چگالی گرمایی بالایی هستند؛ این موضوع فشار زیادی بر سیستم خنککننده وارد میکند. اگر سیستم خنککننده شما به اندازه کافی قوی نباشد، بدنه لامپ دچار گرمای بیش از حد خواهد شد؛ در این صورت، رشتههای تونگستن زودتر از حد معمول خراب خواهند شد.
چند نکته مهم برای حفظ عملکرد صحیح لامپها:
هر ۵۰۰ ساعت، تنظیمات بازتابنده لامپ را بررسی کنید؛ حتی کوچکترین تغییر در زاویه بازتابنده، میتواند باعث ایجاد نقاط گرم شود؛ این موضوع میتواند باعث خرابی کل محموله ویفرها شود.
همچنین، هنگام تمیز کردن کوارتز، از الکل ایزوپروپیلیک با کیفیت الکترونیکی استفاده کنید؛ استفاده از مواد دیگر باعث ایجاد لکههایی روی کوارتز میشود؛ و در این صورت، باید دوباره کار را از ابتدا شروع کنید.