अपने हीटिंग एलिमेंट्स को अपने वेफरों को नष्ट करने से रोकें।
यदि आप क्लास 100 क्लीनरूम में काम कर रहे हैं, तो आपको इस समस्या का अहसास ही होगा। एक ही सूक्ष्म कण भी वेफर पर गिर जाए, तो उत्पादन में भारी गिरावट आ जाती है।
इस समस्या का कारण आमतौर पर हीटिंग एलिमेंट्स ही होते हैं। जब ऐसे लैंपों को सबसे अधिक स्वच्छ रखने की आवश्यकता होती है, तब भी वे गैसें या छोटे-छोटे कण उत्सर्जित करते हैं। हमने इस समस्या को दूर करने हेतु अपने आईआर लैंपों में उच्च-शुद्धता वाले सिंथेटिक क्वार्ट्ज का उपयोग किया।
क्यों क्वार्ट्ज महत्वपूर्ण है?
हम लगभग बिना किसी अशुद्धि के फ्यूज्ड सिलिका का ही उपयोग करते हैं। क्यों? क्योंकि यह लैंपों से धात्विक आयनों के निकलने या कणों के उत्सर्जन को रोकता है।
क्वार्ट्ज को टंगस्टन फिलामेंट के लिए एक घने, अवरोधक सील के रूप में ही समझें। हमने सामान्य असेंबली में प्रयोग होने वाले कार्बनिक गोंदों एवं सस्ती सिरेमिक सामग्रियों का भी उपयोग नहीं किया। इसका मतलब है कि जब इन लैंपों को वैक्यूम में चालू किया जाता है, तो कोई “धुआँ” या गैसें नहीं निकलतीं… ये लैंप बस काम करते ही रहते हैं।
वहीं ऊष्मा दें, जहाँ वास्तव में आवश्यक है।
वेफर टूलों में, तापमान को जल्दी से बढ़ाना आवश्यक है, एवं पूरी सतह पर तापमान समान रहना चाहिए।
हमारे आईआर लैंप, ऊर्जा को शॉर्टवेव स्पेक्ट्रम में ही भेजते हैं। इससे वेफर के आसपास की हवा को गर्म करने में समय बर्बाद नहीं होता… ऊष्मा सीधे सिलिकॉन सब्सट्रेट में ही जाती है। यह बहुत ही तेज़ है… और इससे PID नियंत्रण भी बेहतर हो जाता है।
“झंझट” एवं उनसे निपटने के तरीके
अच्छी बात यह है कि ये लैंप आसानी से ही बदले जा सकते हैं… आपको अपने माउंटिंग ब्रैकेटों या हार्डवेयर को फिर से डिज़ाइन करने की कोई आवश्यकता नहीं है।
लेकिन ध्यान रखें कि इन लैंपों से बहुत अधिक ऊष्मा उत्पन्न होती है… इससे कूलिंग सिस्टम पर दबाव पड़ता है। यदि आपका कूलिंग सिस्टम इतना मजबूत न हो, तो लैंप का आवरण ओवरहीट हो जाएगा… ऐसी स्थिति में फिलामेंट जल्दी ही नष्ट हो जाएंगे।
कुछ उपाय: हर 500 घंटों में रिफ्लेक्टर की संरेखण जाँचें… रिफ्लेक्टर के कोण में थोड़ा भी बदलाव होने से गर्म बिंदु बन जाते हैं… और यह पूरे बैच को नष्ट कर सकता है।
साथ ही, क्वार्ट्ज की सफाई करते समय केवल इलेक्ट्रॉनिक-ग्रेड के आइसोप्रोपिल अल्कोहल का ही उपयोग करें… अन्य किसी भी तरल से सफाई करने से ग्लास पर अवशेष रह जाते हैं… ऐसी स्थिति में आपको फिर से सफाई करनी ही पड़ेगी।