Dalam proses pembungkusan IC jenis 2.5D/3D ini, tiada ruang untuk mengatasi masalah perubahan suhu semasa proses pengeringan bahan pengisi, pemasangan komponen TIM, atau proses pencairan mikrobump. Satu titik panas sahaja sudah cukup untuk merosakkan keseluruhan struktur yang telah dibina selama berbulan-bulan. Kami telah mencipta pemanas khas untuk pembungkusan IC jenis 2.5D/3D ini agar masalah tersebut dapat dielakkan.
Apa yang penting dalam sistem ini: Anda akan mendapat tahap keseragaman suhu sebanyak ±0.1°C di seluruh kawasan aktif wafer. Selain itu, nilai tetapan suhu dapat dikekalkan secara konsisten dari masa ke masa. Komponen inframerah jarak pendek memastikan tindak balas yang cepat dan tepat, sementara zon pemanasan yang terpisah daripada kuarsa membantu mengurangkan penghasilan zarah-zarah kecil. Sistem ini sesuai digunakan di bilik bersih kelas 1–100, dengan permukaan dan sistem penyegelan yang direka untuk mengekalkan jumlah zarah yang rendah semasa proses pemanasan. Sistem kawalan ini bersifat tertutup, boleh dipantau, dan direka untuk proses pemanasan pelbagai jenis, termasuk proses pemanasan fotoresist.
Mengapa ia sesuai untuk digunakan dalam produksi: Profil pemanasan yang konsisten dapat dicapai pada seluruh permukaan wafer dan alat-alat yang digunakan. Ini seterusnya membawa kepada hasil yang lebih stabil, kurangnya kecacatan, dan masa proses yang boleh diramalkan. Pemanas ini dapat beroperasi dengan cepat dan stabil, sehingga penggunaan tenaga berkurangan. Kebolehpercayaan sistem ini bergantung pada operasi 24/7, dengan komponen-komponen yang direka untuk menahan suhu tinggi secara berterusan. Penyelenggaraan juga dilakukan mengikut jadual yang ditetapkan, bukan secara tiba-tiba.
Mengenai integrasi sistem ini: Pemanas ini mudah dipasang, tetapi ia memerlukan sumber tenaga yang khusus serta saluran penyejukan/gas yang sesuai. Penggunaan komponen yang tidak sesuai atau saluran yang terlalu kecil akan mengurangkan prestasi pemanas ini. Rancanglah struktur mekanikalnya dengan teliti – jarak antara pemanas dan komponen lain harus minimum, dan aliran udara perlu lancar agar keseragaman suhu dapat dikekalkan. Apabila semuanya disusun dengan baik, sistem ini akan berfungsi seperti proses yang tetap, bukan lagi variabel yang perlu dikawal.