Ketika anda memanaskan wafer di kawasan pembersihan kimia, sebenarnya anda sedang bermain dengan api. Terdapat wap yang mudah terbakar dan bahan-bahan korosif di udara. Jika lampu IR gagal berfungsi atau radiasi yang dihasilkannya terlalu dekat dengan bahan cair yang mudah terbakar, maka kemungkinan berlakunya kebakaran adalah tinggi. Ini merupakan situasi yang sangat berbahaya.
Untuk mengatasi masalah ini, kita perlu memberi perhatian pada dua perkara utama: cara untuk menyegel lampu tersebut, serta jarak yang diperlukan agar lampu tersebut tidak terlalu dekat dengan bahan cair yang mudah terbakar.
Mencari keseimbangan suhu
Menentukan jarak yang sesuai bukanlah perkara yang mudah. Anda tidak boleh hanya mengandaikan saja. Jika lampu terlalu dekat, wafer akan terbakar, atau lebih buruk lagi, wap yang terhasil akan terbakar. Namun, jika lampu terlalu jauh, proses pemanasan akan menjadi lebih lambat, dan kelajuan pengeluaran juga akan menurun.
Kita perlu mempertimbangkan kuasa lampu dan titik nyala bahan kimia tersebut untuk mencari titik keseimbangan yang tepat. Tujuannya adalah untuk memastikan tenaga yang sampai ke permukaan wafer tetap berada di bawah tahap yang boleh menyebabkan kebakaran.
Mencegah kerosakan
Tiub kuarsa biasa tidak sesuai digunakan dalam situasi seperti ini. Lingkungan di sini terlalu agresif. Sebaliknya, kita menggunakan bahan penutup yang tahan kimia.
Mengapa? Kerana itulah tempat di mana masalah sebenar bermula. Wap kimia akan merosakkan elektrod, dan itulah yang menyebabkan litar pintas. Kita perlu memastikan “zona panas” tersebut dikawal dengan baik, dan menggunakan bahan yang tidak akan mengeluarkan gas atau rosak apabila bahan pembersih bertindak balas dengan bahan kimia tersebut.
Kompromi yang perlu dilakukan
Lini pengeluaran semikonduktor memerlukan kelajuan yang tinggi, jadi lampu IR berkuasa tinggi merupakan pilihan yang sesuai. Namun, kuasa yang tinggi ini membawa risiko. Semakin tinggi kuasa yang digunakan, semakin besar pula jarak yang perlu dijaga agar bahan kimia tidak menjadi terlalu panas.
Jika ruang yang ada terhad, kita tidak boleh menggunakan lampu berkuasa tinggi. Sebaliknya, kita gunakan lebih banyak lampu dengan kuasa yang lebih rendah. Dengan cara ini, beban haba dapat diagihkan secara merata, dan segala-galanya akan berada dalam zon yang selamat.
Dan demi keselamatan, kita juga memasang sistem penghenti haba. Jika sistem penyejukan gagal berfungsi, kuasa akan terputus serta-merta. Tiada lagi risiko kebakaran.